تفاوت کلیدی بین SEM و TEM این است که SEM با تشخیص الکترون های بازتاب شده تصویری ایجاد می کند، در حالی که TEM با تشخیص الکترون های ارسالی تصویری ایجاد می کند.
SEM و TEM ابزارهای تحلیلی هستند که ما در میکروسکوپ الکترونی برای گرفتن تصویری از یک جسم کوچک با استفاده از پرتو الکترون استفاده می کنیم.
SEM چیست؟
SEM مخفف میکروسکوپ الکترونی روبشی است. با اسکن سطح نمونه، تصاویری از نمونه ها ایجاد می کند. از پرتوی الکترون استفاده می کند که به سمت نمونه متمرکز شده است. این الکترون ها با اتم های سطح نمونه برهم کنش می کنند و سیگنال های مختلفی را برای بیان توپوگرافی سطح تولید می کنند.یک آشکارساز این سیگنال ها را برای ایجاد یک تصویر تشخیص می دهد. آشکارساز مورد استفاده ما در اینجا آشکارساز Everhart-Thornley است.
شکل 01: اتاق نمونه SEM
تصویر ارائه شده توسط این تکنیک سه بعدی است و می تواند حداکثر تا ۲ میلیون بزرگنمایی داشته باشد. علاوه بر این، وضوح حدود 0.4 نانومتر است.
TEM چیست؟
TEM مخفف میکروسکوپ الکترونی عبوری است. این میکروسکوپ باریکه ای از الکترون ها را از یک نمونه عبور می دهد. بنابراین، این یک تصویر از ساختار داخلی نمونه ایجاد می کند. علاوه بر این، این تصویر به دلیل برهمکنش بین الکترون ها و اتم های نمونه ایجاد شده است. علاوه بر این، می‌توانیم تصویر را روی یک صفحه فلورسنت یا یک فیلم عکاسی دریافت کنیم.
شکل 2: تصویر به دست آمده از TEM
هنگام در نظر گرفتن وضوح، این ابزار می تواند حدود 0.5 آنگستروم وضوح ارائه دهد. علاوه بر این، می تواند یک نمونه را تا حدود 50 میلیون برابر از نمونه اصلی بزرگ کند. با این حال، تصویر ارائه شده توسط TEM دو بعدی است.
تفاوت بین SEM و TEM چیست؟
SEM مخفف میکروسکوپ الکترونی روبشی است در حالی که TEM مخفف میکروسکوپ الکترونی عبوری است. تفاوت اصلی بین SEM و TEM در این است که SEM با تشخیص الکترون های بازتاب شده تصویری ایجاد می کند، در حالی که TEM با تشخیص الکترون های ارسالی تصویری ایجاد می کند. SEM سطح یک نمونه را تجزیه و تحلیل می کند در حالی که TEM ساختار داخلی را تجزیه و تحلیل می کند. تفاوت دیگر بین SEM و TEM وضوح آنها است. وضوح تکنیک SEM حدود 0.4 نانومتر است در حالی که TEM حدود 0.5 آنگستروم می دهد.
خلاصه - SEM در مقابل TEM
SEM مخفف میکروسکوپ الکترونی روبشی است در حالی که TEM مخفف میکروسکوپ الکترونی عبوری است. تفاوت کلیدی بین SEM و TEM در این است که SEM با تشخیص الکترون های بازتاب شده یک تصویر ایجاد می کند، در حالی که TEM با تشخیص الکترون های ارسالی یک تصویر ایجاد می کند.
